国产90nm光刻机能生产14nm的芯片吗?

昨天,上海官方宣布了一则重磅消息,上海中芯国际已经实现14nm先进工艺规模量产。此外,90纳米光刻机、5纳米刻蚀机、12英寸大硅片、国产CPU、5G芯片等也实现了突破。

原来很多小伙伴以为90nm光刻机就只能生产90nm制程的芯片,只有14nm的光刻机才能生产14nm制程的芯片,其实这是个误解,就像照相机底片一样,经过多次曝光可以叠加出更清晰的照片。

国产90nm光刻机能生产14nm的芯片吗?

90nm光刻机经过两次曝光,可以得到45nm的芯片,三次曝光可以达到22nm的芯片。但是曝光次数越多,芯片的良品率就越低,所以一般情况下能够控制在28nm的水平。

所以本次上海中芯国际宣布量产14nm制程的芯片,若采用的是国产90nm光刻机,估计良品率会很低,成产成本肯定也不低,但中芯国际对外宣称其良品率已达到国际先进水平,则可以判断采用的应该不是国产90nm光刻机。

2021年中芯国际向ASML购买了价值11亿美元的DUV光刻机,据说今年一季度ASML像我国供货了23台,则中心国际宣传量产的14nm工艺芯片应该就是利用这批进口的DUV光刻机,DUV光刻机又称深紫外线光刻机,主要用于10~130nm光刻机,相对于EUV光刻机,DUV光刻机是ASML公司二线的产品。

国产90nm光刻机能生产14nm的芯片吗?

最近美国已放出风声称,会加大对我国科技领域的制裁,所以,利用别人的光刻机,随时有被制裁断货的风险,只有发展国产光刻机,才能不被掐脖子。

可喜的是,上海微电子去年年底就宣称即将交付28nm光刻机,28nm光刻机经过多重曝光能够生产14nm芯片,在极限状态下甚至可以生产10nm的芯片,所以,希望尽快传来国产28nm光刻机的好消息!

国产90nm光刻机能生产14nm的芯片吗?

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